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光學微電子凈化無塵車間技術(shù)解決方案

發(fā)表時間: 2020-08-31

光學微電子凈化車間亦名光學微電子無塵室或光學微電子潔凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于優(yōu)勢地位。

光學微電子凈化無塵車間技術(shù)解決方案

光學微電子凈化工程一般包括:

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室

3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)

4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

光學微電子凈化工程凈化原理:

氣流→初效空氣過濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→高效空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復(fù)以上過程,即可達到凈化目的。

光學微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。

溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

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